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用于SiC 的高溫離子注入機IH-860DSIC

持續高溫植入; 高達700keV; 通過軟件鏈式植入; 占地面積小; 覆蓋研發到批量生產各個領域。


用于SiC 的高溫離子注入機IH-860DSIC

       描述:


       用于碳化硅高溫ESC批量生產的離子注入機。


       特性:


       持續高溫植入


       高達700keV


       通過軟件鏈式植入


       占地面積小


       覆蓋研發到批量生產各個領域


       應用:


       SiC器件


用于SiC 的高溫離子注入機IH-860DSIC

       描述:


       用于碳化硅高溫ESC批量生產的離子注入機。


       特性:


       持續高溫植入


       高達700keV


       通過軟件鏈式植入


       占地面積小


       覆蓋研發到批量生產各個領域


       應用:


       SiC器件

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